コーティング技術
最新の設備を使って、電子ビーム真空コーティング機/スパッタコーティング機/プラズマクリーンシステムなどの各種コーティングサービスを提供します。
LIDT（レーザ誘起損傷閾値）測定
大出力レーザ光学素子に標準的なLIDT試験を提供できる。最新の既存国際ISO 21254の基準に基づいて、標準テストプログラムを行います。
レーザー損傷試験の基本的な方法を以下の図に示します。
損傷形態
典型的な例のレーザによる薄膜の損傷強度と形状はレーザ波長と薄膜材料に依存する。
エキシマレーザーシステム（ARウィンドウ）
レーザー光学（HRウィンドウ）
7 J / cm2@ 343nm
11 J / cm2@ 532nm
15 J / cm2@ 1064nm
8 J / cm2@ 343nm
12 J / cm2@ 532nm
18 J / cm2@ 1064nm
計器
UV，VIS，IRレーザを搭載しており，LIDT測定が可能です。
Nomasky DIC顕微鏡も搭載しており、レーザー破壊時刻をキャプチャすることができます。
紫外線画像
画像を表示
赤外線画像
DIC顕微鏡
IBSコーティング機
技術パラメータ:
-CEC GmbHからのIBS「Navigator 1000」
-紫外線塗料：HfO 2,SiO 2,Al 2 O 3
-利用可能なターゲット材料：Hf，Si，Al，Ta，Ti
-ベース圧力：<2 x 10-7 mbar
-コンベヤー、清潔度が高い
-光学モニタ(BBM)：230-150 nm
-Rugat設計/2つの材料の混合
無線周波数源コーティング機
-コーティングオフセット後：2 nm以内
-塵が少なく、寿命が長く、品質が高い
再現性と均一性
ETC
ITOとバスバーコーティング
-sq:40〜80 ohm
-BBAR@0.45〜0.85 m＆1.55 um
-HD(高耐久性)AR
楕円ミラー二色コーティング
−Ra＞95%@250〜450 nm、Ra＜5%@500〜120 nm
Al 6061応力を低減する「金属＋二色性」コーティング
-コーティング後RMS 20 nm
-R>99%@1540 nm，AOI:0〜30 deg