測定評価

・干渉計:平面/円筒/曲率測定(CX≦700,CC≦1000)
–RMS単純反復性<0.06 nm、λ/10,000(2σ)
–RMS波面繰返し性<0.35 nm、λ/1,800(メン+2σ)
–ピーク画素偏差<0.5 nm、λ/1,200(99.5%)
–瞳の集束範囲4インチ
・三次元測定装置:平行度/平面図/垂直度/円度の測定
–分解能(um):標準0.5、高精度0.1
–最大許容:標準3.5+L/300、3.5、高精度3.0+L/300、3.0
・Prism Master:角度測定
–光電自コリメーション:EFL 300 mm、直径57 mm
–光電自コリメーションの精度:分解能0.01;繰返し性±0.1
・表面粗さ測定:表面粗さ測定(Ra)
–10 x,50 x,100 x測定可能
–垂直走査範囲
–150 um、拡張スキャン範囲は20 mmまでです。
–垂直解像度<0.1 mm
–横解像度0.36から9.50 um
–RMS反復性<0.01 nm
・分光計:透過率/反射率(絶対反射)/吸光度の測定
–波長範囲190〜2800 nm/250〜250 nm(自動偏光子を使用)
–透過率0~85度
–反射率5~85度
–測定誤差(10回繰り返し)測定値)<0.1%
・Mahr LD 260:平面/非球面/円柱/形状と粗さの
–測定–プローブ測定範囲
(1)13 mm(100 mmプローブアーム)
(2)26 mm(200 mmプローブアーム)
–ドライバX軸不確定度:±0.2*L.1000)um
–測定時間:5〜10分
–測定範囲/分解能(Z軸)13 mm/0.8 nm
–測定範囲/分解能(X軸)0.1-220 mm/0.8 nm
–最小測定距離(X軸)0.05-30 um
–位置決め精度:0.1 um
・ASI:平面/非球面/曲率(CX 550/CX 700)の測定
–繰り返し≦10 nm(λ/60)rms
–再現性≦20 nm(λ/30)rms
–精度≦30 nm(λ/20)rms
–測定可能径≦300 mm

< CMM >

< 工具顕微鏡 >

< MarSurf LD260 >

< 分光計 >

< Shack-Hartmannセンサー >

< 表面粗さ測定 >

< Prism Master >

< 干渉計 >